三菱机电处置SiC器件斥天战操做钻研已经有远30年的菱机历程历史，从底子钻研、电S的去操做钻研到批量商业化，器件从2英寸、世少4英寸晶圆到6英寸晶圆，菱机历程三菱机电一背起劲于斥天战操做下功能、电S的去下牢靠性且下性价比的器件SiC器件，本篇章带您体味三菱机电SiC器件去世少史。世少

三菱机电从上世纪90年月已经匹里劈头启动SiC相闭的菱机历程研收工做。最后阶段，电S的去SiC晶体的器件品量真正在不幻念，相宜SiC的世少器件挨算战制制工艺仍处于探供阶段，但研收职员深疑SiC MOSFET是菱机历程可能约莫最小大限度发挥SiC质料劣秀物理功能的器件，因此一背起劲于相闭研收。电S的去

三菱机电于2003年斥天出耐压2kV的器件小芯片SiC MOSFET，并于2005年斥天出耐压1200V、电流10A的SiC MOSFET样片。对于10A的SiC MOSFET停行动态特色评估，下场批注，与Si IGBT比照，开闭耗益可赫然降降。随后，三菱机电继绝斥天小大电流芯片、3.3kV下耐压芯片战散成种种功能的SiC MOSFET器件，并将延绝起劲于斥天下功能、下牢靠性且易于操做的SiC MOSFET器件。

三菱机电总体外部具备器件斥天、电力电子操做斥天战系统斥天等部份。操做那一下风，三菱机电正在斥天SiC芯片的同时，也争先进足斥天SiC MOSFET顺变器。2007年，制制了操做SiC MOSFET的3.7kW顺变器，下场隐现可将顺变器耗益降降50%。2009年，制制出了11kW战20kW顺变器，凭证驱动条件的不开，顺变器耗益可降降70-90%。那临时期，SiC晶圆的品量患上到减速改擅，SiC工艺相闭足艺知识也正在不竭堆散，小大家对于SiC功率器件的真践期看也正在不竭后退。可是，由于耽忧栅极氧化膜的牢靠性，一些制制商对于SiC MOSFET仍持怀疑态度。

三菱机电很早便匹里劈头进足SiC器件操做的系统斥天。2010年，三菱机电争先将回支SiC SBD的异化DIPIPM操做到空调产物中并真现产归天。2011年，斥天出1200A/1700V的小大功率异化SiC模块，并将其操做于天铁的主顺变器中。闭于SiC MOSFET，三菱机电于2013年将3.3kV齐SiC模块乐成操做于轨讲车辆主顺变器中，并真现产归天。3.3kV齐SiC模块已经操做于收罗下速列车正在内的泛滥轨讲车辆主顺变器中，并已经投进商业化经营。此外，三菱机电分说于2015年战2016年，将SiC MOSFET乐成操做到财富用IPM战家电用DIPIPM中，真现了产归天，有助于降降系统的耗益。特意是SiC MOSFET正在轨讲车辆主顺变器中的操做，对于止业产去世了宏大大影响，并减速了SiC MOSFET的产归天战提下。

闭于三菱机电SiC器件的斥天战斲丧线，三菱机电于2000年景坐了2英寸战3英寸的斲丧线，正在2009年景坐了4英寸斲丧线并真现了产归天。正在2010年月前期，竖坐了6英寸斲丧线，也是古晨的尾要斲丧线。将去，晶圆提供商战配置装备部署制制商皆希看转背8英寸晶圆斲丧线，三菱机电也正正在斥天8英寸斲丧线，用意于2026年匹里劈头运行。而后，随着SiC器件正在电动汽车、新能源等市场规模的小大幅扩展大，8英寸斲丧线的投进将有看小大幅降降老本、后退斲丧效力。

<闭于三菱机电>

三菱机电创坐于1921年，是齐球驰誉的综开性企业。妨碍2024年3月31日的财年，总体营支52579亿日元（约开好圆348亿）。做为一家足艺主导型企业，三菱机电具备多项专利足艺，并俯仗强盛大的足艺真力战卓越的企业诺止正在齐球的电力配置装备部署、通讯配置装备部署、财富自动化、电子元器件、家电等市场占有尾要地位。特意正在电子元器件市场，三菱机电处置斥天战斲丧半导体已经有68年。其半导体产物更是正在变频家电、轨讲牵引、财富与新能源、电动汽车、模拟/数字通讯战有线/无线通讯等规模患上到了普遍的操做。

(责任编辑：深度访谈)